尾气处理设备适用于：太阳能光伏、半导体、微电子等行业中多余的危害性气体. 处理的气体包括：SiH4、Si**Cl2、PH3、B2H6、TEOS、**、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。

韩国MAT尾气处理设备（Scrubber）适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气. 处理的气体包括：SiH4、Si**Cl2、PH3、B2H6、TEOS、

处理的气体包括：SiH4、Si**Cl2、PH3、B2H6、TEOS、**、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。