PECVD设备高纯气体供应系统
详细描述
高纯气体供应系统
特气柜（Gas Cabinet），气瓶柜（B**），气瓶架(Rack)，阀门箱（VMB），VMP。
主要应用于：半导体，太阳能光伏，微电子，镀膜等需要高纯气体的行业。
设备有**自动型，半自动型，手动型；
主要气体有：硅烷、**气、**、**气、三**硼、**烷、**等**易爆、腐蚀性**性气体，
常规性气体：氮气、氩气、氦气、氧气等分流盘、汇流排、半自动切换，
公司拥有**的施工团队，满足不能用户的需求，产品质保一年。
详细图纸和资料请联系供应商。
