主营产品:
特气柜VMB,尾气处理设备,VCR接头和阀门,SWG卡套接头和阀门
西安西能光伏科技有限公司
经营模式:贸易/批发/代理
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尾气处理设备适用于:太阳能光伏、半导体、微电子等行业中多余的危害性气体. 处理的气体包括:SiH4、Si**Cl2、PH3、B2H6、TEOS、**、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)适用于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气. 处理的气体包括:SiH4、Si**Cl2、PH3、B2H6、TEOS、
处理的气体包括:SiH4、Si**Cl2、PH3、B2H6、TEOS、**、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。